微柵是電子顯微鏡用來檢測樣品的專用支持膜,特別是納米材料檢測的必備用品。國際上常用"lacey support films"描述。大多數透射電鏡樣品在制樣時,為了確保樣品能搭載在"載網"上,會在"載網"上覆一層有機膜,稱為"支持膜".這種具有支持膜的載網,稱為"載網支持膜".當樣品接觸載網支持膜時。
會很牢固的吸附在支持膜上,不至于從載網的孔洞處滑落,以便在電鏡上觀察。當樣品放在電鏡中觀察時,"載網支持膜"在電子束照射下,會產生電荷積累,引起樣品放電,從而發生樣品漂移、跳動、支持膜破裂等情況。所以,人們考慮在支持膜上噴碳。
提高支持膜的導電性,達到良好的觀察效果。這種經過"噴碳的載網支持膜",簡稱"碳支持膜",一般膜厚度為7-10nm.從制作成本和使用效果看,銅網最經濟實用,所以被普遍采用。因此,人們經常提到的"銅網支持膜"、"碳支持膜"、"碳膜"、"方華膜"等。
甚至被誤稱的"銅網",大多是指這種具有"銅網噴碳的支持膜".通常稱"碳支持膜".準確的說,微柵是支持膜的一個品種,它是在制作支持膜時,特意在膜上制作的微孔,所以也叫"微柵支持膜",它也是經過噴碳的支持膜,一般膜厚度為15-20nm.它主要是為了能夠使樣品搭載在支持膜微孔的邊緣,以便使樣品"無膜"觀察。